技术背景

       半导体行业作为我国新出现并快速发展的一个生产行业，主要应用于电子机械制造中，对我们经济发展具有重要的支撑作用。目前半导体行业生产废水主要有三大类，分别是含氟废水、含铜废水以及含氨废水，三类废水因为水质复杂、污染物含量高，对环境均具有较为严重的影响，加强半导体生产废水的处理是企业急需解决的环保难题。

技术特点

       针对半导体生产废水的特征污染物和处理要求，中国煤科杭州研究院提出分类收集、分质处理、达标排放的治理思路和配套工艺，具体而言，对含氟磷废水采用多级梯度式同步除氟去磷强化预处理技术；对高氨氮废水采用高效絮凝澄清预处理；对电镀含铜废水采用序批式物化澄清过滤强化处理，三股废水预处理后采用调质与复合反硝化耦合高密度生物增浓技术，实现各类污染物分级深度全流程去除，系统具有良好的耐冲击能力和运行稳定性。

典型案例

       中国煤科杭州研究院已将半导体生产废水成套技术与装备应用于多个同类废水处理工程中，如浙江某半导体有限公司400m3/d半导体废水处理工程，项目涉及整个污水处理厂工程设计、设备采购、非标设备制作、安装、工程调试及技术服务，属EPC交钥匙工程，废水经物化和生物脱氮处理后实现达标排放，氨氮＜30mg/L。

  浙江某半导体有限公司半导体生产废水处理工程，处理能力400m3/d